簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "自動化及控制研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="潛像"


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    投影式微影之光源模態最佳化研究
    • /102/ 碩士
    • 研究生: 吳韋辰 指導教授: 郭鴻飛
    • 微影製程有兩項重要指標,一能將光罩圖案潛像(Aerial Image)正確的轉移至光阻基材上,二提供足夠製程視窗(Process Window)以供應穩定的製程良率。本研究目的在針對投影式微影系統開…
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